-
12 hüvelykes átmérő:
12 hüvelykes wafers feldolgozására tervezett polírozó korongok és párnás kerekek.
-
Félvezető anyag:
Magas tisztaságú félvezető anyagból készülnek a pontos felületekért.
-
N-típus és P-típus:
Kaphatók N-típus és P-típus konfigurációkhoz.
-
Pontos felület:
Sima, egyenletes felületet biztosít ismételhető eredményekkel.
-
Berendezéssel kompatibilis:
Kifejezetten standard polírozó berendezésekhez tervezve.
-
Testre szabható opciók:
A folyamatok és wafer típusok igényeihez igazíthatóak.
-
Processzus sokoldalúság:
12 hüvelykes wafer folyamatokra optimalizált.




